1 σχέση: Μικροηλεκτρομηχανικά.
Μικροηλεκτρομηχανικά
Τα μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα (MEMS), πουγράφονται επίσης ως μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα (ή μικροηλεκτρονικά και μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα) και τα συναφή μικρομεγατρονικά και μικροσυστήματα αποτελούν την τεχνολογία των μικροσκοπικών συσκευών, ιδίως εκείνων με κινούμενα μέρη.